沁源，因沁河之源而得名，古為冀州之域。
春秋為晉之地。
戰(zhàn)國前期屬韓后屬趙。
秦屬上黨郡。
西漢置谷遠(yuǎn)縣。
王莽時，改谷遠(yuǎn)為谷近縣。
三國為魏之地。
晉廢縣，屬上黨郡。
北魏孝莊帝(元子攸)建義元年，(公年528年)始置沁源縣，縣治在今城南一里許。
同年，于沁源縣置義寧郡，領(lǐng)團(tuán)城、義寧、安澤、沁源等縣。
北齊，北周時，沿用不改。
隋文帝(楊堅)開皇十六年(公元596年)治沁州，州治在沁源縣城南。
同年，沁源北部始置綿上縣，屬西河郡。
隋煬帝(楊廣)大業(yè)初，沁源屬上黨郡;隋恭帝(楊侑)義寧元年，仍復(fù)義寧郡。
唐高祖武德初，復(fù)沁州治。
同年，又在沁源西部，分設(shè)招遠(yuǎn)縣，沁州，三年廢，招遠(yuǎn)縣仍歸沁源縣。
唐玄宗(李隆基)天寶元年(公年742年)改沁州為陽城郡。
領(lǐng)沁源、和川、綿上。
唐肅宗(李享)乾元初復(fù)稱沁州，故治在沁源縣。
北宋時屬威勝軍，宋太宗(趙炅即匡義，亦名光義)太平興國二年(公元977年)威勝軍在銅亂柳石圍中，即今沁縣城置沁州，從此，沁州便從沁源遷到沁縣，沁源縣仍屬沁州。
金初沁源亦屬沁州;金宣宗(完顏王旬)元光二年(公元1223年)始治谷州，谷州治在沁源。
元世祖(忽必烈)至元年間廢谷州，屬沁州。
明清時，仍屬沁州，州治在今沁縣城。
民國三年(即公元1914年)，沁源屬冀寧道。
民國十九年(公元1930年)廢道，屬山西省。
1942年10月，在朱鶴嶺以北地區(qū)分設(shè)綿上縣，綿上縣政府駐東村、赤石橋、水峪等地，1945年4月11日，沁源和綿上又合并為沁源縣，縣政府駐郭道鎮(zhèn)。
太岳區(qū)的岳北專署駐沁源城關(guān)。
1949年太行區(qū)的長治專署和太岳區(qū)的岳北專署，合并為長治專署后，沁源縣政府，從郭道遷到城關(guān)。
1958年沁縣和襄垣合并不久，又和沁源三縣合并為沁州，縣政府駐沁縣城。
1959年，沁縣、沁源、襄垣又按原地分為三縣，沁源縣政府從沁縣遷回城關(guān)鎮(zhèn)(現(xiàn)改名為沁河鎮(zhèn))。